【玉石・転石に有効！】硬質地盤に杭、鋼矢板施工『MLT工法』

PR特殊スクリューが常識を変える！硬質地盤に杭や鋼矢板を施工する『MLT工…

特殊スクリューが常識を変える！ ＭＬＴ工法（無排土孔壁工法）は、硬質地盤に鋼矢板やＨ鋼杭等を打ち込むために事前に地盤を削孔・置換する工法です。 圧縮翼・撹拌翼からなる特殊スクリューにより掘削土を孔壁に圧縮することで、孔壁の自立を図り短時間での削孔を可能にしました。その結果削孔時の排土も少なくなります。 特に硬質地盤のうち玉石・転石・岩盤等に効果を発揮し、従来工法に比べコスト縮減・工...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エムエルティーソイル

駐輪場システム 『サイクルンゲート』※施工事例集プレゼント

PR【展示会出展】自治体への導入実績多数！スムーズ・安全に入出場できて、不…

『サイクルンゲート』は、ゲートバーをボールベアリングで支持することで 安全・スムーズな入出場を実現した駐輪場用のゲートです。 非電動のゲートバーは自転車で軽く押し進めるだけで回転するため 朝のラッシュ時などでもスムーズな通行が可能なほか、 通行スピードの違いによる挟まりや巻き込みが起こりにくく、安全に使用できます。 また、２台同時の通行は防ぐ構造で、識別機・入口発券機との組み合わせで 不正利用...

メーカー・取り扱い企業： 東海技研株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…

■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通…

-axis：300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1000mm/sec ・θ-axis：200°/sec ・Z-axis：250mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量：4.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：50kg ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：121mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量：0.7kg (Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：35kg ■設置環境 ・温度　10...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レ…

■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1600mm/sec ・θ-axis：540°/sec ・Z-axis：1500mm/sec ・Y-axis：1500mm/sec ■繰返し位置精度 ・XθY directions（composite）: ±0.1mm ・ Z direction: ±0.1mm ■可搬質量：0.5kg/arm (Including E/E, E/E-ba...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ …

-axis：300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1000mm/sec ・θ-axis：200°/sec ・Z-axis：250mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量：1.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：32kg ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

is：340° ・Z-axis：300mm ■最大動作速度 ・X1,A-axis：1800mm/sec ・θ-axis：360°/sec ・Z-axis：500mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量：0.5kg/arm (including E/E, E/E-base, Wafer） ■本体質量：32kg ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』

【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級…

：180° ■最大動作速度 ・X, A-axis：800mm/sec ・θ-axis：130°/sec ・Z-axis：200mm/sec ・R-axis：150°/sec ■繰返し位置精度： ・XYZ方向 各±0.1mm ・R方向 ±0.5° ■可搬重量：1.5kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：40kg ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』

【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…

【仕様】 ■繰返し位置精度：XY方向：各±0.1mm　θ方向：±0.2° ■アライメント時間：1.8sec. ※ 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。■本体質量：8kg ■必要諸源 　・真空：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

θ-axis：340° 　・Z-axis： 22mm ■最大動作速度 ・X-axis： 62°/sec ・θ-axis：192°/sec ・Z-axis：121mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量：4kg（Including E/E, E/E-base, Wafer） ■本体質量：44kg ■設置環境 ・温度　10-40...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン