【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。
■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。
■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、
反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、
レチクル搬送が可能。
■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の
3種に対応可能。
■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
【仕様】
■動作範囲
・X1, X2-axis：500mm
・θ-axis：340°
・Z-axis：300mm or 450mm
■最大動作速度
・X1, X2-axis：1000mm/sec
・θ-axis：200°/sec
・Z-axis：250mm/sec
■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each
■可搬重量：4.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量：50kg
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| UT-AFW4010NM | 分類：Long Arm Type 可搬重量：1kg/2N･m |
| UT-AFW4000NM | 分類：High Payload Type 可搬重量：4kg/8N･m |
カタログ大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
取扱企業大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
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