【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアライナ
■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング
■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』
【仕様】
■適用ウエハサイズ：300mm
■繰返し位置精度：高精細モード XY: ±0.05mm θ: ±0.075°
ノーマルモード XY: ±0.2mm θ: ±0.1°
■アライメント時間
・高精細モード ：Average 7.5sec.
・ノーマルモード：Average 3.5sec.
■本体質量：7kg
■必要諸源：電源 24 VDC 3A
■設置環境
・温度 0-40℃
・湿度 70% or less
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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カタログ大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』
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