【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット
450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。
半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた
高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の
半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
基本情報大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』
【仕様】
■動作範囲
・X, A-axis：500mm
・θ-axis：340°
・Z-axis：300mm
■最大動作速度
・X1,A-axis：1800mm/sec
・θ-axis：360°/sec
・Z-axis：500mm/sec
■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each
■可搬質量：0.5kg/arm (including E/E, E/E-base, Wafer）
■本体質量：32kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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カタログ大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』
取扱企業大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』
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