【~300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減! 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ
ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。
■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。
■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
【仕様】
■動作範囲
・X1, X2-axis:500mm
・θ-axis:340°
・Z-axis:300mm or 450mm
■最大動作速度
・X1, X2-axis:1000mm/sec
・θ-axis:200°/sec
・Z-axis:250mm/sec
■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each
■可搬重量:1.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量:32kg
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カタログ大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
取扱企業大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
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