【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着保持式アライナ
■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能
■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能（ウエハID読取り利用）
■石英ウエハにも対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』
【仕様】
■繰返し位置精度：XY方向：各±0.1mm θ方向：±0.2°
■アライメント時間：1.8sec.
※ 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。■本体質量：8kg
■必要諸源
・真空：-80kPaG or less, 10NL/min.
・電源：24 VDC 3A
■設置環境
・温度：15-25℃
・湿度：60% or less (No condensation)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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カタログ大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』
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