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12件 - メーカー・取り扱い企業
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PR転石のある地盤や岩盤における場所打ち杭の施工、大深度の掘削施工を始め、…
困難なオールケーシングの大深度掘削を安全に施工するためには、 高い鉛直精度を維持しながらケーシングを押し込む機能、チャック装置の信頼性が大きなポイントになります。 スーパートップ工法に使用されるRTシリーズ・チュービング装置は、 クサビ型チャック装置とクラス最大級の回転トルク・引抜力を持っています。 また、岩石の効率的・経済的な切削をめざして、ビット荷重を一定の値に保持することが可...
メーカー・取り扱い企業: 太洋基礎工業株式会社
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【CSPI-EXPO】第6回建設・測量生産性向上展に出展します!
PR今年のテーマは『スマホ測量とAIによる森林解析ツール』 5/22-24…
本年は『スマホ測量』と『AIによる森林解析ツール』の2つをテーマに展示いたします。 スマホ測量では写真解析分野で実績のあるPix4D社製品ソフトウェアと、 高精度スマホ計測を実現するRTK装置のハードウェアをご紹介いたします。 AIによる森林解析ツールでは京都大学発スタートアップのDeepForest Technologies 株式会社のソフトウェアをご紹介いたします。 ドロー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イメージワン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』
【~300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載! 振動の大幅…
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』
【~300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送! 装置スループッ…
■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…
■3本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
【~300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能! 高速電力線通…
-axis:300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis:1000mm/sec ・θ-axis:200°/sec ・Z-axis:250mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量:4.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:50kg ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
【~300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…
・θ-axis:340° ・Z-axis:20mm ■最大動作速度 ・X-axis:250°/sec ・θ-axis:220°/sec ・Z-axis:121mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量:0.7kg (Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:35kg ■設置環境 ・温度 10...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作! さまざまな装置レ…
■最大動作速度 ・X1, X2-axis:1600mm/sec ・θ-axis:540°/sec ・Z-axis:1500mm/sec ・Y-axis:1500mm/sec ■繰返し位置精度 ・XθY directions(composite): ±0.1mm ・ Z direction: ±0.1mm ■可搬質量:0.5kg/arm (Including E/E, E/E-ba...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
【~300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減! …
-axis:300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis:1000mm/sec ・θ-axis:200°/sec ・Z-axis:250mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量:1.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:32kg ※詳しくはPDF...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット…
is:340° ・Z-axis:300mm ■最大動作速度 ・X1,A-axis:1800mm/sec ・θ-axis:360°/sec ・Z-axis:500mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量:0.5kg/arm (including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:32kg ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
【~300mmウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能! 保護等級…
:180° ■最大動作速度 ・X, A-axis:800mm/sec ・θ-axis:130°/sec ・Z-axis:200mm/sec ・R-axis:150°/sec ■繰返し位置精度: ・XYZ方向 各±0.1mm ・R方向 ±0.5° ■可搬重量:1.5kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:40kg ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【50~300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…
【仕様】 ■繰返し位置精度:XY方向:各±0.1mm θ方向:±0.2° ■アライメント時間:1.8sec. ※ 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。■本体質量:8kg ■必要諸源 ・真空:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット!
θ-axis:340° ・Z-axis: 22mm ■最大動作速度 ・X-axis: 62°/sec ・θ-axis:192°/sec ・Z-axis:121mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量:4kg(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:44kg ■設置環境 ・温度 10-40...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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