歩きながら短時間で3Dデータを取得『3Dレーザー計測サービス』

PR歩きながら短時間で広範囲の3Dデータを取得！ プラント・工場の維持管理…

当社は、歩きながら3D点群データを取得できる ウェアラブルデバイスを使用した「3D計測サービス」を行っています。 デバイスには2台のLiDARが搭載されており、高精度の計測が可能。 SLAM技術を併用し、高品質の空間情報をご提供できます。 障害物も容易に避けられるため、広い施設・空間も高効率で計測可能です。 【特長】 ■1日あたり10,000～20,000m2の範囲を計測可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 大浦工測株式会社 ［東京本社・横浜支店・九州支店・関西支店・仙台営業所 ］

立体マップ作成サービス『360°ビューイング』

PR3Dスキャンにより立体感・没入感が大幅アップ。オープンキャンパス、結婚…

立体マップ作成サービス『360°ビューイング』は、 高精度の写真撮影と3Dスキャンによって、 空間をより立体的に表現することが可能です。 臨場感や没入感を大きく高められ、オープンキャンパスや、 企業の施設見学、ホール・結婚式場の下見などに活用でき、 離れた場所にいる人にもその魅力を存分に伝えられます。 オプションで2DCAD・点群データの出力にも対応可能で メタバース・デジタ...

メーカー・取り扱い企業： 東京ケーブルネットワーク株式会社 本社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…

■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通…

-axis：300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1000mm/sec ・θ-axis：200°/sec ・Z-axis：250mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量：4.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：50kg ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：121mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量：0.7kg (Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：35kg ■設置環境 ・温度　10...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レ…

■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1600mm/sec ・θ-axis：540°/sec ・Z-axis：1500mm/sec ・Y-axis：1500mm/sec ■繰返し位置精度 ・XθY directions（composite）: ±0.1mm ・ Z direction: ±0.1mm ■可搬質量：0.5kg/arm (Including E/E, E/E-ba...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ …

-axis：300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1000mm/sec ・θ-axis：200°/sec ・Z-axis：250mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量：1.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：32kg ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

is：340° ・Z-axis：300mm ■最大動作速度 ・X1,A-axis：1800mm/sec ・θ-axis：360°/sec ・Z-axis：500mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量：0.5kg/arm (including E/E, E/E-base, Wafer） ■本体質量：32kg ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』

【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級…

：180° ■最大動作速度 ・X, A-axis：800mm/sec ・θ-axis：130°/sec ・Z-axis：200mm/sec ・R-axis：150°/sec ■繰返し位置精度： ・XYZ方向 各±0.1mm ・R方向 ±0.5° ■可搬重量：1.5kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量：40kg ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』

【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…

【仕様】 ■繰返し位置精度：XY方向：各±0.1mm　θ方向：±0.2° ■アライメント時間：1.8sec. ※ 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。■本体質量：8kg ■必要諸源 　・真空：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

θ-axis：340° 　・Z-axis： 22mm ■最大動作速度 ・X-axis： 62°/sec ・θ-axis：192°/sec ・Z-axis：121mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量：4kg（Including E/E, E/E-base, Wafer） ■本体質量：44kg ■設置環境 ・温度　10-40...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン