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12件 - メーカー・取り扱い企業
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576件 - カタログ
4207件
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歩きながら短時間で3Dデータを取得『3Dレーザー計測サービス』
PR歩きながら短時間で広範囲の3Dデータを取得! プラント・工場の維持管理…
当社は、歩きながら3D点群データを取得できる ウェアラブルデバイスを使用した「3D計測サービス」を行っています。 デバイスには2台のLiDARが搭載されており、高精度の計測が可能。 SLAM技術を併用し、高品質の空間情報をご提供できます。 障害物も容易に避けられるため、広い施設・空間も高効率で計測可能です。 【特長】 ■1日あたり10,000~20,000m2の範囲を計測可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 大浦工測株式会社 [東京本社・横浜支店・九州支店・関西支店・仙台営業所 ]
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ワイヤーレス式草刈りロボット『NEXMOW(ネクスモウ)』草刈機
PR境界ワイヤーの埋設不要。高精度GPSによる自動運転で、置くだけですぐに…
ワイヤーレス式草刈りロボット『NEXMOW(ネクスモウ)』は、 自動で草刈りが行える、人手不足の解消に貢献する製品です。 高精度のGPSを搭載しており、境界ワイヤーを埋める必要がなく、 設定した範囲内の草刈りが自動で行えます。 【特長】 ■スマートフォンのアプリで簡単に操作や設定が可能 ■超音波センサーによる障害物検知、障害センサーによる自動停止に対応 ■最大10台まで連携可...
メーカー・取り扱い企業: 水戸工業株式会社
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』
【~300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載! 振動の大幅…
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』
【~300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送! 装置スループッ…
■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…
■3本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
【~300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能! 高速電力線通…
-axis:300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis:1000mm/sec ・θ-axis:200°/sec ・Z-axis:250mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量:4.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:50kg ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
【~300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…
・θ-axis:340° ・Z-axis:20mm ■最大動作速度 ・X-axis:250°/sec ・θ-axis:220°/sec ・Z-axis:121mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量:0.7kg (Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:35kg ■設置環境 ・温度 10...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作! さまざまな装置レ…
■最大動作速度 ・X1, X2-axis:1600mm/sec ・θ-axis:540°/sec ・Z-axis:1500mm/sec ・Y-axis:1500mm/sec ■繰返し位置精度 ・XθY directions(composite): ±0.1mm ・ Z direction: ±0.1mm ■可搬質量:0.5kg/arm (Including E/E, E/E-ba...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
【~300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減! …
-axis:300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis:1000mm/sec ・θ-axis:200°/sec ・Z-axis:250mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量:1.0kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:32kg ※詳しくはPDF...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット…
is:340° ・Z-axis:300mm ■最大動作速度 ・X1,A-axis:1800mm/sec ・θ-axis:360°/sec ・Z-axis:500mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬質量:0.5kg/arm (including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:32kg ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
【~300mmウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能! 保護等級…
:180° ■最大動作速度 ・X, A-axis:800mm/sec ・θ-axis:130°/sec ・Z-axis:200mm/sec ・R-axis:150°/sec ■繰返し位置精度: ・XYZ方向 各±0.1mm ・R方向 ±0.5° ■可搬重量:1.5kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:40kg ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【50~300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…
【仕様】 ■繰返し位置精度:XY方向:各±0.1mm θ方向:±0.2° ■アライメント時間:1.8sec. ※ 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。■本体質量:8kg ■必要諸源 ・真空:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット!
θ-axis:340° ・Z-axis: 22mm ■最大動作速度 ・X-axis: 62°/sec ・θ-axis:192°/sec ・Z-axis:121mm/sec ■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each ■可搬重量:4kg(Including E/E, E/E-base, Wafer) ■本体質量:44kg ■設置環境 ・温度 10-40...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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