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PR簡単施工でLL-45相当の遮音性能と高性能グラスウール断熱材48Kと同…
製品名: シャルダンSPF400 【特徴】 ✔低床40mm! ✔遮音・断熱一体型ユニット ✔省施工 乾式二重床に比べ施工時間を1/3以下に短縮!(自社調べ) ✔SPCフローリングでLL-45を取得!上材の種類を選ばないマルチタイプ 製品厚さ40mmのフローリングの下に敷き並べる床遮音材です。 薄くて硬く、遮音性能の確保が難しいと言われているSPCフローリングで性能を取得しています。 シャル...
メーカー・取り扱い企業: イイダ産業株式会社
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【津波対策製品】津波救命艇シェルター(4人・8人・25人乗り)
PR地震発生から津波到達まで避難が間に合わない! 猛烈な速度で迫ってくる津…
『+CAL(タスカル)』シリーズは、救命艇のエキスパートが造った、耐用年数30年以上の津波救命艇シェルターです。 高波で横転しても船体が自然に復帰するセルフライディング構造や、 船体に大きなダメージを受け、万が一完全に浸水しても沈まない、津波の画像を徹底的に検証し設計されています。 また、不沈構造は全てSOLAS【SOLAS条約(海上人命安全条約)とは、1912年のタイタニック号海難事故...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ミズノマリン 本社・工場
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』
【~300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能! 高速電力線通…
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジク...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
【~300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis:720mm ・θ-axis:340° ・Z-axis:20mm ■最大動作速度 ・X-axis:250°/sec ・θ-axis:220°/sec ・Z-axis:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作! さまざまな装置レ…
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』
【~300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載! 振動の大幅…
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』
【~300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減! …
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット…
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis:500mm ・θ-axis:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
【~300mmウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能! 保護等級…
■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis:500mm ・θ-axis:340° ・Z-axis:300mm ・R-axis:180° ■最大動作速度 ・X, A-ax...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…
■3本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■適用ウエハサイズ:300mm ■繰返し位置精度:高精細モード XY: ±0.05mm θ: ±0.075° ノーマルモード XY: ±0.2mm ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【50~300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…
■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能(ウエハID読取り利用) ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■繰返し位置精度:XY方向:各±0.1mm θ方向:±0.2° ■アライメント時間:1.8sec. ※ 50mmウエハの場合、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』
【~300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送! 装置スループッ…
■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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【~300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット!
■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis:750mm ・θ-axis:340° ・Z-axis: 22mm ■最大動作速度 ・X-axis: 62°/sec ・θ-axis:192°/sec ・Z-axis:121mm/sec ■繰返...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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