イーサネット通信＆給電用機器『ギガビットエクステンダ』

PR電源いらずの遠隔カメラ撮影が可能！1kmのギガビットイーサネット通信と…

『ギガビットエクステンダ』は、1Gbpsの高速イーサネット通信と電源供給を、 1kmもの長距離で実現できるイーサネット通信＆給電機器です。 通信と電力を重畳して遠隔伝送するPoL技術により、リモート側の機器には電源の準備が不要。 さらにリモート側の機器からPoEで監視カメラなどのデバイスへ電源供給が行えます。 また、設定は給電機能を有効/無効にするDIPスイッチのみのため、 簡単...

メーカー・取り扱い企業： フエニックス・コンタクト株式会社

指静脈認証スキャナー『CB-LBS(FV)A』＜指1本で入退室＞

PR指静脈の生体情報を用いてセキュリティを強化しつつ、通行時の省力化も実現…

『CB-LBS(FV)A』は、ICカードや暗証番号の入力がいらず、 指静脈の生体情報を用いて入退室が行える指静脈認証スキャナーです。 ICカードを紛失する心配がなく、再発行の手間やコストを削減し、運用の効率化に貢献。 最大5,000名（10,000指）の生体情報を登録でき、約1秒での高速認証が可能なほか、 電気錠制御機能を内蔵し、ほとんどの電気錠を直接制御できます。 指を置く認証...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＪＥＩ（旧社名：日本電子工業株式会社）

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通…

■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis：720mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レ…

■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ …

■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』

【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級…

■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm ・R-axis：180° ■最大動作速度 ・X, A-ax...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…

■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■適用ウエハサイズ：300mm ■繰返し位置精度：高精細モード　　XY: ±0.05mm θ: ±0.075° ノーマルモード　XY: ±0.2mm ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』

【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着…

■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能（ウエハID読取り利用） ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■繰返し位置精度：XY方向：各±0.1mm　θ方向：±0.2° ■アライメント時間：1.8sec. ※ 50mmウエハの場合、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 　・X-axis：750mm 　・θ-axis：340° 　・Z-axis： 22mm ■最大動作速度 ・X-axis： 62°/sec ・θ-axis：192°/sec ・Z-axis：121mm/sec ■繰返...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン