電動ピペットシステム『ぴぺすま』

PR面倒で複雑な分注操作をスマートに自動化＆省力化！有害な物質を安全に取扱…

『ぴぺすま』は、一般的な多関節ロボットでハンドリング可能な 電動ピペットシステムです。 ロボットハンドで把持しやすいシンプルな形状。ロボットと組み合わせることで 分注操作を完全自動化。 毒劇物や放射性物質を含んだ液体など有害な物質でも安全に取り扱いできます。 【特長】 ■一般的なロボットハンドで把持しやすいシンプルな形状 ■手動操作が可能(コントロールボックスのボタンを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社藤原製作所

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通…

■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ …

■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レ…

■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis：720mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』

【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級…

■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm ・R-axis：180° ■最大動作速度 ・X, A-ax...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアラ…

■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン