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ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/m…
70余年、電磁弁・調量弁を扱う老舗流体制御機器メーカーとして培ってきた技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減!】 ●大差圧(2.2MPa)に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量(2500lN/min (N2))に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することが...
メーカー・取り扱い企業: ビュルケルトジャパン株式会社
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