株式会社アイテス 【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ

ステージ駆動による広域イメージマップ!マジックの分布を可視化できた測定例をご紹介

電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能な
TOF-SIMSの事例をご紹介します。

金属板に2種類の黒色マジックで描画し、広域(30mm×30mm)の
イメージマッピング測定を実施。

光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特長的な
2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を
可視化することができます。

この他にも、TOF-SIMSにて広域イメージマップ測定後、スペクトルから
詳細な解析結果を得られた事例もございます。

【概要】
■通常測定(ビームスキャン測定)は、サイズ500μm × 500μm以下を測定対象
■電動ステージと組み合わせることで、広い領域のイメージマップ測定が可能

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基本情報【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ

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カタログ【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ

取扱企業【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ

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【解析・信頼性評価事業】  ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価  ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】  ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】  ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】  ■ウェハー加工サービスおよび販売

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