株式会社アイテス
最終更新日:2023-01-12 17:17:49.0
【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ
【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ
電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能な
TOF-SIMSの事例をご紹介します。
金属板に2種類の黒色マジックで描画し、広域(30mm×30mm)の
イメージマッピング測定を実施。
光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特長的な
2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を
可視化することができます。
この他にも、TOF-SIMSにて広域イメージマップ測定後、スペクトルから
詳細な解析結果を得られた事例もございます。
【概要】
■通常測定(ビームスキャン測定)は、サイズ500μm × 500μm以下を測定対象
■電動ステージと組み合わせることで、広い領域のイメージマップ測定が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
化学分析のトータルサポートサービス
アイテスでは有機・無機物の分析、異物、表面分析等、目的・試料に適した
受託分析メニューをご提案・実施いたします。
この部門では、高度なサンプリング技術を用いて微小異物の成分分析を行う
微小異物分析や、試料中の不純物分析等、有機・無機の成分分析・定量分析を行います。
また、表面汚染・酸化状態など、試料最表面の分析を行います。
【サービス一覧】
■熱分解 GC/MSによるエポキシ樹脂硬化物の成分分析
■イメージングFT-IRによる微小有機異物の分析
■顕微ラマン分光法による微小異物の分析
■イオンクロマトグラフ分析(IC) など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
有機物のTOF-SIMS分析
TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が
可能であり、有機物の分析にも有効です。有機物分析の例として
ポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。
二次イオンマススペクトルは有機物の定性に有効な知見を得られる
場合があります。
今回の事例では、ポリエチレングリコールに特長的な繰り返し構造
(C2H4O)を質量差44のピーク群として確認できます。
質量数から計算すると、末端はH-,HO-であり、プロトン付加として
検出されていることが推測されます。
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微量汚染物のTOF-SIMS分析
再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。
同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を
行いました。
TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物(CH,CN)、
Na、K、が検出されました。
ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と
思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が
付着していることがわかりました。
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【TOF-SIMSの事例】Liの分析
TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介します。
汚染や異物の分析には、SEM-EDXが利用されていますが、
windowless EDXを除く一般的なEDXではLiの検出は困難です。
一方、TOF-SIMSはLiを感度よく検出することができます。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
【概要】
■銅板の染みの分析
■SEM-EDX分析→Li検出困難
■TOF-SIMS分析→Li検出可能
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化学分析 おまかせサービス
当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。
製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、
無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適
なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。
分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、
目的に合った手法を選ぶ必要があります。
【特長】
■結果が得られたデータのみ報告
■結果報告は最大2手法まで
■3手法以上の結果報告をご希望の場合は、別途費用が発生
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ
【解析・信頼性評価事業】 ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価 ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】 ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】 ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】 ■ウェハー加工サービスおよび販売
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