TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
■TOF-SIMS 3つの分析モード
・高分解能質量スペクトル
・深さ方向分析
・表面の面分析
基本情報TOF-SIMSによる表面分析
・TOF－SIMSはパルス状の一次イオンを照射し
励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。
・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり
質量の分離が出来ます。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・緑顔料中のフタロシアニングリーンの分子構造 ・薄膜a-Si太陽電池の深さ方向分析 ・Siウエハ表面汚染の面分析 |
カタログTOF-SIMSによる表面分析
取扱企業TOF-SIMSによる表面分析
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