EPMAによる分析は、PET、PETH分光結晶で検出することができ、17Clと47Agのピーク分離が可能!
EPMAはEDXと比較すると検出分解能が優れています。
EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、
EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。
当資料は、47Agと17Clのピーク分離についてご紹介。
チップ抵抗器の断面観察や、47AgのX線スペクトル、マッピング比較
などを掲載しております。
【掲載内容】
■47Agと17Clのピーク分離
■47AgのX線スペクトル
■マッピング比較
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基本情報【資料】EPMA分析例 その2
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