株式会社アイテス
最終更新日:2023-01-12 17:19:34.0
ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例
ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例
EPMAは特長の一つに、ガイドネットマップ法があります。
SEM-EDXでは測定範囲が狭く、湾曲試料では面分析が正しく測定できないことが
ありますが、EPMAのガイドネットマップ法を用いることで、広範囲の分析が
可能になります。
隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、⼀括して表示するための手法で、
高低差が不均一な面に対して測定を行ったり、大きな面の測定を行うときに使用します。
【ガイドネットマップ法の特長】
■隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、
⼀括して表示するための手法
■高低差が不均⼀な面に対して測定を行ったり、
大きな面の測定を行うときに使用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
断面研磨・加工・観察・分析のトータルサポートサービス
アイテスでは電子部品、実装基板、半導体、化合物半導体、パワーデバイス、
フィルム、樹脂成形品、太陽パネル、液晶ガラスなど
さまざまな部品・材料の断面を受託加工作製します。
また作製した断面の観察や分析を行い、不良解析や出来栄え評価などを
受託分析いたします。
【サービス一覧】
■機械研磨
■CP加工
■ミクロトーム
■FIB加工
■半導体拡散層の解析 など
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EPMAによる状態分析
EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態(イオン価、
結晶構造、配位数)の異なりから、特性X線ピーク波長に変化(シフトや波形)が
生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。
2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が
困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる
酸化状態の把握が可能です。
また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、
異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の
把握ができます。
【装置仕様】
■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
■最大試料寸法:100x100mm
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EPMAによる微量元素の検出
EPMA分析は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析や
マップ分析等に優れています。
パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生した例では、腐食原因物質の
特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。
EPMAでは分解能、検出下限、P/B(ピークバックグラウンド)比が、EDXより
優れているため、微量のCl分布が明瞭に把握することができました。
【装置仕様】
■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
■最?試料寸法:100×100mm
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EPMA分析
『EPMA分析』は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に
微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。
100×100mmサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能。
酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析例では、SEM-EDXに
比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好でした。
また、微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。
【特長】
■エネルギー分解能や検出感度が良い
■特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れる
■ステージ可動により広範囲のマッピングが可能
■100×100mmサイズも対応可能
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EPMA分析における7つの分光結晶
EPMAには、7つの分光結晶があり、目的とする元素の波長に合わせて分光器を
選択することで、エネルギー分解能や検出感度が良く、微量成分の定量分析や
マップ分析等で優れた結果を得ることが出来ます。
当資料では、"波長分散型X線分光器(WDS)の測定原理"をはじめ、
"22Tiの測定例"などを図を用いて詳しく掲載。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容】
■波長分散型X線分光器(WDS)
■測定例 22Ti
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【資料】EPMA分析例
EPMAは、EDXと比較すると検出分解能が優れています。
EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、
EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。
当資料では、22Tiと56Baのピーク分離についてご紹介。
積層セラミックコンデンサの分析例や、チタン酸バリウム(BaTiO3)の
X線スペクトルを掲載しています。
【掲載内容】
■22Tiと56Baのピーク分離
・分析例 積層セラミックコンデンサ
・チタン酸バリウム(BaTiO3)のX線スペクトル
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【資料】EPMA分析例 その2
EPMAはEDXと比較すると検出分解能が優れています。
EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、
EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。
当資料は、47Agと17Clのピーク分離についてご紹介。
チップ抵抗器の断面観察や、47AgのX線スペクトル、マッピング比較
などを掲載しております。
【掲載内容】
■47Agと17Clのピーク分離
■47AgのX線スペクトル
■マッピング比較
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取扱会社 ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例
【解析・信頼性評価事業】 ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価 ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】 ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】 ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】 ■ウェハー加工サービスおよび販売
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