EBSD法により結晶サイズの分布や、残留応力を推測することができます
積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を
紹介致します。
EBSD法により結晶サイズの分布や、残留応力を推測することが可能。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特長を
可視化できます。
【概要】
■EBSDにて結晶構造を観察
・IPFマップ
・GRODマップ
・結晶粒分布map
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基本情報【EBSDによる解析例】ビア
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