多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-125】Φ8"対応 SiCコーティング 1000℃ヒーターステージ搭載！コンパクトサイズ！

多元同時スパッタ装置【MiniLab-S125】

多元同時スパッタ装置【MiniLab-S125】

多元マルチスパッタリング装置（Φ8inch基板対応）
・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ
・RF500W, DC850W両電源を3元カソード（Source1, 2, 3）へ自在に配置変更
・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード（4）で使用
・基板加熱ステージ Max800℃（SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能）
・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング
・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W
・LLチャンバー＜30W 低出力制御ソフトエッチング
・独自の"Soft-Ething"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減
・タッチパネル又はWindows PC操作：操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。
・装置設置寸法：1,960(W) x 1,100(D) x 1,700(H)mm
・マルチチャンバー式も製作可能です。

●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。

【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置

【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置製品画像

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C…

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】製品画像

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C…

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