【nanoPVD-S10A】RF/DCマグネトロンスパッタリング装置

【概要】
標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル（1.8m付属）でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。
1) 4-20mA出力
2) USB出力（USBバスパワーで動作）
3) 4-20mA/USB出力の同時使用
の3通りの使い方が可能です。

【特徴】
◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能
◎ 優れた基本性能：精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答
◉ PUA2：短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能
◉ PUA5：ガラス表面測定用に好適 波長5μm
◉ PUA8：一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um （詳細を見る）

【概要】
標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。
USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。
さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。

【特徴】
◎ USBデータロギング
◎ ワイドレンジ：-20℃〜+1000℃
◎ 優れた基本性能：精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答
◎ 放射率調整範囲：0.2〜1.0
◎ 測定波長領域8〜14μm
◎ 小型Φ18mm x 45mm （詳細を見る）

【概要】
英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple（パイロ・カップル）」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。
「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。

【特徴】
◎ アンプ・センサ一体型
◎ 4-20mA出力（標準）、0-50mV、熱電対K, J, T出力（オプション）
◎ 精度：±1% or ±1℃（いずれか大きい値）
◎ 再現性：±0.5% or ±0.5℃（いずれか大きい値）
◎ 応答速度：240msec
◎ 保護等級：IP65 （詳細を見る）

【概要】
視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。
microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。
（*オプションでディスプレー無しの変換器もあります）
φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。
PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温（Max2000℃）、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。

【特徴】
◎ ワイドレンジ：-20〜1000℃（PM）, 100〜2000℃（PM2.2）
◎ 優れた基本性能：精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答
◎ 測定波長領域：8〜14μm（PM）, 2.0〜2.2μm（PM2.2）
◎ 小型Φ18mm x 45mm （詳細を見る）

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。
（TIIS型式検定合格番号：第21097号） （詳細を見る）

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。
● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード（Android4.1〜5.1）
● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。
● 超小型センサ（Φ31mm x t29mm）狭い場所でも温度測定が可能。
● 高速応答125msec、高精度±1.5%
● 電圧出力（0-5V or 0-10V）、又はK熱電対出力 （詳細を見る）

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）
高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応
高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション
-1) Max600℃（ランプ加熱）
-2) Max1000℃（C/Cコンポジット）
-3) Max1000℃（SICコーティング）
ロードロック内逆スパッタステージ
-1) 300W、又は
-2) Soft-Etching(＜30W）
システム主制御：'IntelliDep'制御システム Windows PC（又はTP HMI）インターフェイス
全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理
 （詳細を見る）

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）
高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応
高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション
-1) Max600℃（ランプ加熱）
-2) Max1000℃（C/Cコンポジット）
-3) Max1000℃（SICコーティング）
ロードロック内逆スパッタステージ
-1) 300W、又は
-2) Soft-Etching(＜30W）
システム主制御：'IntelliDep'制御システム Windows PC（又はTP HMI）インターフェイス
全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理 （詳細を見る）