超高純度ガス用圧力調整器『SRQ-1HL・SRQ-1LL』

高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食…

『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社

ライン用大流量圧力調整器『LR-9B・LR-9S』

経済産業大臣認定品！流れ方向は、左側入口（左高圧）のタイプも製作可能で…

各種ガス集中供給する場合、配管末部に取付け使用します。 『LR-9B・LR-9S』は、ガス純度99.99（真鍮）～99.999 （ステンレス）％のガス供給に好適なライン用大流量圧力調整器です。 高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選びください。 【特長】 ■経済産業大臣認定品 ■流れ方向は、左側入口（左高圧）のタイプも製作可能 ■ガス供給に好適なライン用 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社

半導体用圧力調整器『ER-1HL・ER-1LL』

太陽電池・液晶・LED生産工場や研究している大学・研究機関に！半導体用…

『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。 製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を 満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」 「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社