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高純度ガス(純度99.999~99.99999%)や半導体用ガス・腐食…
『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス...
メーカー・取り扱い企業: ヤマト産業株式会社
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経済産業大臣認定品!流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプも製作可能で…
各種ガス集中供給する場合、配管末部に取付け使用します。 『LR-9B・LR-9S』は、ガス純度99.99(真鍮)~99.999 (ステンレス)%のガス供給に好適なライン用大流量圧力調整器です。 高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選びください。 【特長】 ■経済産業大臣認定品 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプも製作可能 ■ガス供給に好適なライン用 ...
メーカー・取り扱い企業: ヤマト産業株式会社
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太陽電池・液晶・LED生産工場や研究している大学・研究機関に!半導体用…
『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。 製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を 満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」 「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリ...
メーカー・取り扱い企業: ヤマト産業株式会社
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