【オーダーメイド 専用機製造事例】アニール装置

シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例を…

半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持し、ストッカー部 のみ取出し可能とする構造にすること、掃除用マドを配置し掃除しやすく したいとのご要望がありました。 既存機の改造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西野製作所