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顕微鏡オート移動など、生産性、使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です。 オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です。4インチのガラスマスクを使用し、フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像、モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと、露光ギャップ設定を行うことで、露光が可能です。 なお、露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避、ランプハウスが所定の位置に移動し、設定光量露光、自動退避までを...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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飛来物防止板(興研テーブルコーチ KOACH T 500-F)
粗大粒子等重量飛来物の落下対策。コンタミネーションコントロールとして最…
■テーブルコーチへの設置例 粗大粒子等重量飛来物の落下によるコンタミネーションコントロールとして最適。飛来物防止板を設置した場合、プッシュフード対向間距離を700mmから1OOOmmまで拡張することができる。また飛来物防止板購入時、飛来物防止板内にイオナイザーをオプション設置されたものの選択も可能。 イオナイザー(除電器)を設置することにより、クリーン環境下における有効な静電気対策が行えま...
メーカー・取り扱い企業: 泉州機工株式会社
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■大阪府堺市に新規開設■国内最大級の大型ショールーム■実際の作業時の清…
大阪府堺市堺区に、KOACHの大型ショールームを新規開設(関西国際空港から高速経由25分、阪神高速湾岸線 三宝ジャンクション直近) フロアーコーチTz(ガイドスクリーン長20m スリープモード付き)の実機あり ■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない...
メーカー・取り扱い企業: 泉州機工株式会社
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【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様 興研KOACH】興研
◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る
■FERENA※の特長 ◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出ない ※FERENA(フェリナ)とは、オープンクリーンシステムKOACHのプッシュフードに搭載されているフィルタです。FERENAにより、KOACHは清浄度ISO...
メーカー・取り扱い企業: 泉州機工株式会社
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■ISOクラス1のクリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前予約制
■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆プッシュプル気流にて同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない気流 (作業、製品・機器による清浄度の低下なし) ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ (一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る) ※パーティクルカウンター用意...
メーカー・取り扱い企業: 泉州機工株式会社
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【KOKENスーパークリーンテクニカルセンター紹介】興研代理店
■ISOクラス1の大空間クリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前…
■テクニカルセンターの展示製品 (全機種、クリーンゾーン形成のデモンストレーションが可能) ◆フロアーコーチEz KOACH Ez 3段×7列(オープンクリーンルーム) ◆フロアーコーチFs KOACH Fs 2段×3列(全面クリーンゾーン生成装置) ◆オープンクリーンベンチ KOACH C 900(衝立型) ◆オープンクリーンベンチ KOACH C 645(衝立型) ◆連続コーチ K...
メーカー・取り扱い企業: 泉州機工株式会社
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