エネルギー分散X線分光法(EDS)

特性X線を検出！微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析…

『エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)』は、電子顕微鏡(SEMやTEM)に 取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し、 試料や異物の元素情報を得る手法です。 物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、 特性X線のエネルギーに相当する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析

非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能！分析事例もご紹介いたし…

株式会社アイテスでは、XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析を 行っております。 サンプルとXPSの光電子検出器との角度を変えることにより、光電子の 検出深さを変えることが可能。 これより得られたデータをシミュレーションにより数値的に解析し、 深さ方向のプロファイルに変換します。 通常のイオンエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス