特性X線を検出！微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析手法
『エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)』は、電子顕微鏡(SEMやTEM)に
取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し、
試料や異物の元素情報を得る手法です。
物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、
特性X線のエネルギーに相当する数の電子-正孔対が生成。
この数(電流)を測定することで特性X線のエネルギーを知ることができ、
エネルギーは元素により異なるため、物質の元素情報を調べることが可能です。
【EDSによる分析(一部)】
■金属間化合物の定性分析(点分析)
・測定されたスペクトルの特性X線がどの元素の特性X線エネルギーに
対応するかを調べることで、元素の種類を調べることができる
■金属間化合物の半定量分析
・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで、含有元素の
濃度を算出することができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報エネルギー分散X線分光法(EDS)
【その他のEDSによる分析】
■線分析
・SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルすることができる
・層状に異なる組成が存在している試料に対し有効な場合がある
■面分析
・各元素の分布を2次元的に見ることができる
・いくつかの元素を重ね合わせた画像を表示することも可能
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■微小領域や微小異物等の元素情報を得たいとき ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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