システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 　上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 　上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ 　ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』

ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高…

『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

システム【切替弁】Stream Switching System

流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。

<特徴> 1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、 　閉時に内部に残る不要なガスを排出します。 2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。 3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。 4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、 　200万回以上の高耐久化を実現。 5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。 　貴重...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

システム【水分発生装置】WVG(FS)

<FINE series PURE>超高純度用、 触媒反応を利用した…

<特長> 1.触媒を利用した反応炉。 2.幅広い濃度制御範囲。 3.優れた安全性。 4.各種インターロック。 5.安全仕様。...◆詳細製品カタログをご参照願います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社