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ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング ウェハ型ステージクリ…
半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング(ダミーラン)によるパーティクルの除去がおこなわれていますが、ダミーランでも除去できないパーティクルは、装置を停止して人手によるクリーニング作業をおこないます。しかしながら、装置復旧までには多くの時間を要し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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