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豪雨浸水からの災害復旧に朗報!【HOTJEBLOふじやまR2】
PR【ゲリラ豪雨・台風・線状降水帯多発!】床下・床上浸水の復旧洗浄に適した…
2020年豪雨災害後、九州の某市教育委員会からのお引き合いで、学校横を 流れる河川の氾濫により、浸水した中学校の教室と体育館の床下復旧洗浄のご依頼を頂きました。 入り込むスペースが狭い中での作業の為、大掛かりな機材が搬入できず、 堆積した汚泥を掻き出すのはかなりの労力が必要。水害時など人手が 必要な時には難しいとお困りでした。 そこで『HOTJEBLOふじやまR2』を導入。飛散し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社レボテック
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ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング ウェハ型ステージクリ…
半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング(ダミーラン)によるパーティクルの除去がおこなわれていますが、ダミーランでも除去できないパーティクルは、装置を停止して人手によるクリーニング作業をおこないます。しかしながら、装置復旧までには多くの時間を要し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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クリーン度の維持に貢献!半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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