大差圧、大流量もビュルケルトのMFCにお任せください！

ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/m…

績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減！】 ●大差圧（2.2MPa）に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量（2500lN/min (N2)）に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。 ●小流量から大流量まで（例えば50～2500lN/min(N2)...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

【新商品】組付け対応拡大！「モジュラータイプセレックスFRL」

本格モジュールによるコンビネーションシステムアップ。多様なニーズに応え…

ションを追加！ オプション、バリエーションを充実し多様化したニーズに応えるコンビネーションの組合せが可能になりました。 ★New★ ●IN側残圧排出弁組付け対応追加！ ●フィルタ・レギュレータ組付け対応開始！...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社