MEMS用統合解析ソフトウェア『IntelliSuite』

各種マスクデータ形式に対応！製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計…

ます】 ■ファブリケーションシミュレーションの装備 ■プロセスによる薄膜物性の違いを考慮 ■異方性Wet,Dryエッチングシミュレーターを装備 ■MEMSデバイス専用モデリングツール ■マスクファイルの作成/インポート/エクスポート ■MEMS専用解析ソルバー ■MEMSパッケージ解析 ■MEMS動的システムモデル抽出 ■MEMS用システム解析 ■MEMS構造パラメータシステ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンストテクノロジー