MEMS用統合解析ソフトウェア『IntelliSuite』アドバンストテクノロジー

各種マスクデータ形式に対応！製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計環境を提供します

『IntelliSuite』は、半導体素子の製造工程を利用したマイクロマシン(MEMS)の
製造工程の検討から、デバイスの性能評価まで一貫して検討することを
目的とした、統合型の設計・解析ソフトウェアです。

汎用性を持たせることによる弊害の排除、数値解析におけるユーザー負担の
軽減を実現し、効率的な解析結果の取得を促すことで、MEMS開発における
負担の軽減を実現しています。

【特長】
■専門技術間のシームレスなデータ連携を実現するソフトウェア設計環境
■等価回路要素による高速設計機能
■MEMS構造設計者向けデザインルールチェック
■Optical,Piezo,Sensor,RF,Bio,他の各種MEMSに対応
■ASIC設計との連携機能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.ad-tech.co.jp/products/intellisuite

基本情報MEMS用統合解析ソフトウェア『IntelliSuite』

【以下の点でMEMS専用として特化しています】
■ファブリケーションシミュレーションの装備
■プロセスによる薄膜物性の違いを考慮
■異方性Wet,Dryエッチングシミュレーターを装備
■MEMSデバイス専用モデリングツール
■マスクファイルの作成/インポート/エクスポート
■MEMS専用解析ソルバー
■MEMSパッケージ解析
■MEMS動的システムモデル抽出
■MEMS用システム解析
■MEMS構造パラメータシステム解析
■MEMSコストシミュレーション

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