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ヒーターステージ(1000℃)搭載!開発工程~量産工程まで様々な用途へ…
【その他の特長】 ■ダブルロードロック室で高生産性を実現 ■ロータリタイプとマルチチャンバタイプを融合した搬送形態で 多様なプロセスへの対応と高スループットを両立 ■各ポジションに様々なユニットを装着可能 ■3~6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏芯回転磁石...
メーカー・取り扱い企業: パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社
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