【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

CT測定器内蔵オゾンガス発生装置『AlaClean Turbo』

感染症対策・危機管理BC対策！高濃度＆高CT値による強力除染・脱臭

『AlaClean Turbo』は、オゾン効果の可視化を実現したCT測定器内蔵 オゾンガス発生装置です。 長寿命オゾン発生体(12,000mg/h)による大容量オゾンと450m3/hの強力な ブロアで部屋の隅々まで強力脱臭。5,000m3の大規模なスペースまで対応。 また、100,000CT値・60ppmまで制御可能なコントロールパネル (タッチパネル)で、濃度・湿度CT値を同時...

メーカー・取り扱い企業： 川上機工株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社