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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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CT測定器内蔵オゾンガス発生装置『AlaClean Turbo』
感染症対策・危機管理BC対策!高濃度&高CT値による強力除染・脱臭
『AlaClean Turbo』は、オゾン効果の可視化を実現したCT測定器内蔵 オゾンガス発生装置です。 長寿命オゾン発生体(12,000mg/h)による大容量オゾンと450m3/hの強力な ブロアで部屋の隅々まで強力脱臭。5,000m3の大規模なスペースまで対応。 また、100,000CT値・60ppmまで制御可能なコントロールパネル (タッチパネル)で、濃度・湿度CT値を同時...
メーカー・取り扱い企業: 川上機工株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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