ウエハー非接触搬送　ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

2～12インチウエハー平置き搬送用　空気で包んで優しく運びます。

、45度、90度の3点より本体部を選択し、 　対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能 　(使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更不可) ○ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、 　ウエハー縁を点で接触 ○ESD対策用透明アクリル樹脂使用のガイドリングは、 　目視による位置決めや吸引状態の確認が出来る 【オプション】 ...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社