ウエハー非接触搬送　ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ大日商事

2～12インチウエハー平置き搬送用　空気で包んで優しく運びます。

ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。
搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。
本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。

【特徴】
○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択
○対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能
○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化
○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応
○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.dainichi-shoji.co.jp/Product/Tweezers/B…

基本情報ウエハー非接触搬送　ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

【特徴】
○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、
　対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能
　(使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更不可)
○ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、
　ウエハー縁を点で接触
○ESD対策用透明アクリル樹脂使用のガイドリングは、
　目視による位置決めや吸引状態の確認が出来る

【オプション】
○専用スタンド
→6インチ～2インチのベルヌーイチャック用スタンド：コードNo.678
→12インチ/8インチのベルヌーイチャック用スタンド：コードNo.699
○プロトスキャリア用
○ソーラーパネル用

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報	お問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください。
用途／実績例	●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。