全自動水圧式プレッシャーメータ試験装置『AUTO LLT3』

PR高圧ガス不要。繰り返し載荷試験も対応。全地連「技術フォーラム2024」…

『AUTO LLT3』は、繰り返し載荷試験にも対応している プレッシャーメータ試験装置です。 高圧ガスを使用しない全自動。水圧式、軽量化と取り扱いが容易に。 また、ポンプ制御をすることで応力制御が可能です。 試験開始から終了まで全自動により、各段階の圧力制御とデータ保存を おこない、専用のデータ処理ソフトにより、簡単にデータ整理ができます。 【特長】 ■繰り返し載荷試験に...

メーカー・取り扱い企業： 応用計測サービス株式会社

鉄筋かご組立なら！座屈・変形を生じない『GT工法』

PRNETIS登録。φ3000以上の大口径にも対応。“無溶接なのに溶接より…

『GT工法』は、一般的な無溶接工法の課題を解決するNETIS登録済みの工法です。 「GTフック」や「GTフープ」などの無溶接金具を使用することで、 施工の効率を高め、基礎工事の安全性と耐久性を確保。 φ3000以上の大口径にも対応可能で、 一般的な工法に比べ施工の柔軟性と強度が向上します。 【特長】 ■大口径の深礎杭などにも対応OK ■無溶接金具で変形・ねじれを起こさない...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社恵信工業

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには 　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 　 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社