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91件 - メーカー・取り扱い企業
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高精度(≦±2mm)2次元レーザースキャナーで水平/垂直測定
PR水平/垂直方向計測が可能な高精度2次元レーザースキャナー。今までになか…
高精度のレーザー距離センサーに角度制御を施し、X/Y座標の計測、表示が可能になり 3次元測定では十分ではなかった精度で計測ができるようになります。 また、200,000ポイント/revの分解能を実現し、測れなかった変位も自動で測定が可能になります。 今まで人がマニュアルで計測していたことを、スキャナーで正確に、短時間で計測し、 作業の効率化、省人化、短時間化、自動化が実現します。 【用途】 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社エムティプレシジョン
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【玉石・転石に有効!】硬質地盤に杭、鋼矢板施工『MLT工法』
PR特殊スクリューが常識を変える!硬質地盤に杭や鋼矢板を施工する『MLT工…
特殊スクリューが常識を変える! MLT工法(無排土孔壁工法)は、硬質地盤に鋼矢板やH鋼杭等を打ち込むために事前に地盤を削孔・置換する工法です。 圧縮翼・撹拌翼からなる特殊スクリューにより掘削土を孔壁に圧縮することで、孔壁の自立を図り短時間での削孔を可能にしました。その結果削孔時の排土も少なくなります。 特に硬質地盤のうち玉石・転石・岩盤等に効果を発揮し、従来工法に比べコスト縮減・工...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エムエルティーソイル
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ギヤポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』
ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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電動ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』
歯車ポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々な電動ポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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ギヤポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』
ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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電動ポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』
ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々な電動ポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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ギヤポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』
ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
1)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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歯車ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』
歯車ポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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ギアポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』
ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション!…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! …
1)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! SimericsMP+...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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オイルポンプに強いCAEソフトウェア『SimericsMP+』
歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! …
1)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! SimericsMP+...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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メッシュ生成から解析、ポスト処理までを同一の環境で行うことが可能!
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP+は...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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エンジンやトランスミッション等の油圧回路だけでなく、モーターやバッテリ…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! PumpLinxは様々...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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モーターやバッテリーの冷却解析にも『Simerics MP+』
エンジンやトランスミッション等の油圧回路だけでなく、モーターやバッテリ…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! PumpLinxは様々...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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オイルポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』
歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! …
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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CFD解析の初心者からエキスパートまで幅広い要求にお応えする使いやすさ…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP+は...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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オイルポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』
歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション! …
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! Simerics MP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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エンジンやトランスミッション等の油圧回路だけでなく、モーターやバッテリ…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! PumpLinxは様々...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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エンジンやトランスミッション等の油圧回路だけでなく、モーターやバッテリ…
)計算メッシュの自動生成! 複雑な流路に対しても、簡単なボタン操作で計算メッシュの自動生成が可能です。 また、回転/容積変化を伴うポンプ室に対しては、専用のメッシュ作成モジュールを用いることで、精度の高い計算メッシュを自動生成します。 面倒な作業要らずで、高精度のメッシュの移動/回転/変形を自動実行することが可能です。 (2)様々なギヤポンプの流体解析が可能! PumpLinxは様々...
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プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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”現場帳票”の記録(EXCEL)や報告業務を、デジタル化&ペーパーレス…
試用版』を無料提供中★ 【導入効果】 ■ペーパーレス化、入力工数の削減によるコスト削減 ■データー後処理、再活用の工数・コストを最小化 ■業務の効率化、スピードアップ ■業務品質・情報精度・情報鮮度の向上 ■属人化した現場のノウハウを共有し作業レベルを均一化 ■持ち出しする備品を削減 ※製品の詳細は、PDF資料をダウンロードください。 ※『試験版』をご希望の方は、お気軽に...
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マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには Monte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには Monte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理
Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ
「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析
Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ(CC…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ
「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置
長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP
Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D
「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理
代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP(容量結合プラズマ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン
カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析
Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジ...
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