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顕微鏡オート移動など、生産性、使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です。 オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です。4インチのガラスマスクを使用し、フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像、モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと、露光ギャップ設定を行うことで、露光が可能です。 なお、露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避、ランプハウスが所定の位置に移動し、設定光量露光、自動退避までを...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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低価格な擬似太陽光源、「Class AAA」の信頼性
軽量、省スペース、光軸調整が不要な放射照度:1 sunのソーラシミュレータ 【主な特長】 ●軽量、省スペース 「放射照度場所ムラ」、「放射照度時間変動率」、「スペクトル合致度」についてClass AAAに準拠した、軽量、コンパクトボディな装置です。 ●光軸調整不要 自動センタリング機構と精度の高い専用ランプ設計により、ランプ交換や測光時の光軸調整が不要です。 ●ユーザフレンドリ それ...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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