リフロー装置
ウエハーBUMPリフローや真空リフロー装置、卓上リフロー装置などをご紹…
・加熱方式:ホットプレートと上部遠赤外ヒーターの併用 ・ホットプレート:ウェハーの反りに適応したビン立て加熱 ・3軸クリーンロボットを2基搭載 ■真空リフロー装置 ・最大φ12インチ(単槽) ・真空度:10kpa以下 ・ホットプレート&遠赤外線 ・冷却:N2ノズル(炉内)/水冷プレート(炉外) ■卓上リフロー装置 ・コンベア式&バッチ式加熱炉 ・最高400℃まで、最大34...
メーカー・取り扱い企業: 大日商事株式会社
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