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半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒を起こしてしまった事例をご紹介
【事例概要】 ■発生場所 ・半導体製造装置のメンテナンス作業中 ■対策 ・装置の扉を開放しないで有害物質の検知ができるようにすること ・装置内の有害物質等の検知を扉を開けて行わなくても出来るように 検知システムを自動化する等の検討を行う ※詳しくはPDF資料をご覧いた...
メーカー・取り扱い企業: 理研計器株式会社 本社
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電極レスなので配管掃除もしやすい!検出部のタッチパネルで流量・圧力校正…
ート紙での記録も可能(内側に収納) ■USBにてデータ保存できる(データはExcel) ■記録部タッチパネルで現状がわかる ■オールステンレス仕様で錆に強く、長持ち ■記録計部を防雨型設計、扉を閉めると漏電しにくい構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アマング.
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