空圧アクティブ微振動制御システム『αシリーズ』

3点から多点支持まで可能！装置の仕様・要求にあわせた微振動制御技術

『αシリーズ』は、微振動制御技術の粋を結集した空圧アクティブ 微振動制御システムです。 半導体・液晶がますます微細化され、生産効率を上げるために、 高精度、高速化へ推移し、そこでは大きな直動外乱を素早く解消する技術が 求められています。 当製品は、このような市場の要望に応え、優れた除振性能、制御性能、 および復元性能を有します。 【特長】 ■優れた振動絶縁特性 ■早い...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社

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振動制御技術のプロフェッショナル集団！振動制御のトータルソリューション…

技術集団」として「変革」「改革」「挑戦」する意識と 気概を持ち続け、 チームワークを最大限に発揮し当社の振動制御技術が 社会に評価され続ける事を目指しております。 【事業内容】 ■振動制御装置（アクティブ/パッシブ）の製造・販売事業 ■振動関連試験装置、計測装置、監視装置の製造・販売事業 ■振動計測及びコンサルに関する事業 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

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【テクニカルガイダンス】精密振動系製品

パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで！ナノ時代のファインテクノロジ…

当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のための テクニカルガイダンスです。 装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、 空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、 振動制御技術バリエーションなどを掲載。 パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで『精密振動系製品』を 多数紹介しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■ナノ時...

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