空圧アクティブ微振動制御システム『αシリーズ』

3点から多点支持まで可能！装置の仕様・要求にあわせた微振動制御技術

『αシリーズ』は、微振動制御技術の粋を結集した空圧アクティブ 微振動制御システムです。 半導体・液晶がますます微細化され、生産効率を上げるために、 高精度、高速化へ推移し、そこでは大きな直動外乱を素早く解消する技術が 求められています。 当製品は、このような...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社

【テクニカルガイダンス】精密振動系製品

パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで！ナノ時代のファインテクノロジ…

当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のための テクニカルガイダンスです。 装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、 空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、 振動制御技術バリエーションなどを掲載。 パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで『精密振動系製品』を 多数紹介しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■ナノ時...

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特許機器株式会社　会社案内

振動制御技術のプロフェッショナル集団！振動制御のトータルソリューション…

近年のIT革命は、世界的な規模で産業構造を大きく変えようとしていますが、 その情報インフラを支えるテクノロジーには、至る所に超微細加工、 精密技術が用いられ、そこでは必ず微振動環境、微振動制御が顔を のぞかせています。 私たちは、既存の事業領域にとらわれず、このような社会の変化が新しく、 創り出す領域に対して、先見的「振動制御技術集団」として広大な事業領域を 見ていけるものと確信し...

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