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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
主な特長 1.定評のある500Wマルチライト光源を搭載しています。 2.基板供給、アライメント、露光、基板排出を自動で行うとともに、ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現しています。 3.マスクとウエハ...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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