- 製品・サービス
5件 - メーカー・取り扱い企業
企業
127件 - カタログ
474件
-
-
190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
サーチを行うオートアライメントを採用しました。また、安定した視認性を実現するために、顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により、照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています。 オペレータはフォトマスクとウエハをセットし、あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで、ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ、露光までをオートで行うことから、オペレータや使用経験に依存しない、安定した精度での...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
-
-
両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能
ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
-
-
顕微鏡オート移動など、生産性、使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です。 オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です。4インチのガラスマスクを使用し、フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像、モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと、露光ギャップ設定を行うことで、露光が可能です。 なお、露光スイッチを押すと自動...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
-
-
ガラスマスクとワークをアライメントし、微細なマスクパターンを転写する露…
新開発の光学系、ミラー技術、効率高いの超高圧水銀ランプ・メタルハライドランプが 織りなす高精度な「平行光」と、優れたコストパフォーマンスにより、最先端技術の 発展を支えます。 【片面マスクアライナー】 ●半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に 用いられます。 ●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
-
-
搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能!
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
- 表示件数
- 15件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。