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システム【切替弁】Stream Switching System
流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。
<特徴> 1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、 閉時に内部に残る不要なガスを排出します。 2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。 3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。 4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、 200万回以上の高耐久化を実現。 5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
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<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです…
<IGSパネル完成の流れ> 1.IGS設計 2.部品選定・手配 3.ベースブロックの設定 4.上部機器取り付け 5.施工完了...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
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