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インライン型膜厚計の分析例について紹介します。
【特徴】 今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、 ○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで 補正が可能であることがわかりました。 ○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr ...
メーカー・取り扱い企業： アワーズテック株式会社
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