- 製品・サービス
1件 - メーカー・取り扱い企業
企業
173件 - カタログ
394件
絞り込み条件
製品分類
メーカー・取扱い企業
-
-
シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例を…
改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持し、ストッカー部 のみ取出し可能とする構造にすること、掃除用マドを配置し掃除しやすく したいとのご要望がありました。 既存機の改造で小型化、軽量化を実現し、要望...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社西野製作所
- 表示件数
- 45件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。